명칭 : ＲＦ 전력 분배 장치 및 ＲＦ 전력 분배 방법

등록번호 : 10-1151416

등록일자 : 2012.05.23

등록권리자 : 주식회사 플라즈마트

발명자 : 김재현, 이상원, 이용관

요약 :

  본 발명은 RF 전력 분배 장치 및 RF 전력 분배 방법을 제공한다. 이 RF 전력 분배 장치는 RF 전원의 전력을 유도 안테나들에 전달하는 임피던스 매칭 네트워크, 및 임피던스 매칭 네트워크의 출력 전력을 서로 병렬 연결된 제1 및 제2 유도 안테나들에 분배하는 제1 전력 분배부을 포함한다. 제1 전력 분배부는 제1 유도 안테나에 직렬 연결된 제1 인덕터, 일단은 상기 제1 인덕터 및 상기 제1 유도 안테나에 병렬 연결되고 타단은 접지되는 제1 가변 축전기, 및 일단은 제1 가변 축전기의 일단과 제1 인덕터의 일단이 서로 접촉하는 제1 노드에 연결되고, 타단은 제2 유도 안테나의 일단 및 매칭 네트워크의 출력단이 연결되는 제2 노드에 연결되는 제1 축전기를 포함한다.