명칭 : 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법

등록번호 : 10-1446159

등록일자 : 2014.09.24

등록권리자 : 주식회사 플라즈마트

발명자 : 이용관, 엄세훈, 김영록, 이규훈

요약 :

  본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 폐 루프를 형성하도록 토로이드(toroid) 형태의 자성체 코어, 자성체 코어의 일 단면을 감싸고 폐 루프를 형성하는 방전 공간을 포함하는 챔버, 자성체 코어의 다른 단면을 감싸도록 배치되는 유도 코일, 유도 코일에 전력을 공급하여 자성체 코어에 의하여 형성된 유도 기전력이 방전 공간에 토로이달 플라즈마를 형성하도록 하는 교류 전원, 및 방전 공간의 내부 표면에 형성된 그루브(Groov

e)를 포함한다. 유도 코일은 변압기의 1차 코일을 구성하고, 방전 공간에 형성된 플라즈마는 상기 변압기의 2차 코일을 형성한다.